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技術(shù)文章

高溫爐操作規(guī)程

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高溫爐操作規(guī)程
1 準(zhǔn)備工作
a,檢查電源線接觸是否良好
b,檢查連接線是否正常
c,檢查冷卻水是否正常
d,檢查密封性是否正常
e, 準(zhǔn)備所需工具:無(wú)塵紙、無(wú)水酒、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
2 開(kāi)爐
a,打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)
b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開(kāi)爐體前門,取下石墨蓋板
c, 將輸送車開(kāi)關(guān)打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開(kāi)關(guān).
d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
3裝料
a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
b、拔出限位桿,輸送車開(kāi)關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會(huì)到初始位置。
c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
4 高溫爐抽氣
a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封
b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開(kāi)干式真空泵,打開(kāi)真空計(jì)開(kāi)關(guān) P1G1,打開(kāi)干式真空泵 。閥門,開(kāi)始抽氣測(cè)試泄漏率,
c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開(kāi)氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
加熱 先打開(kāi)水環(huán)泵 再按 RUN,開(kāi)始工藝加熱。
冷卻
a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻;

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