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技術(shù)文章

真空管式電阻爐裝箱配置

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真空管式電阻爐,具有合理的性能設(shè)計,集多項功能于身,安全性,可靠性,實用性均達理想效果。
1.溫度1700,加熱區(qū)為300mm。
2.爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼之間裝有風(fēng)機,可以快速升降溫,爐殼表面溫度低。 
3.
爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
4.爐膛材料采用的進口氧化鋁是多晶纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,加熱爐膛為體化,方便取放實驗物料、更換爐管。加熱元件采用硅鉬棒。
5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),儀表控制度為±1,具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序,具有超高溫報警功能,具有熱電偶損壞斷電功能,具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能。
6、升溫速度為0-20/min,可編寫30段的自動升溫程序,可控硅控制,配備數(shù)顯的LED電壓表、電流表,選用B型熱電偶。
7、可選配RS-485通訊接口,數(shù)據(jù)管理軟件,具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線,校正溫度的偏離誤差的功能,可以管理多臺設(shè)備和遠程故障的診斷分析。
8、多種安全防護設(shè)計,安全性能好,使用壽命長。
9、電爐可以抽真空、通氣氛,真空度可以達到10pa(機械泵),如果需要更高真空度可以選擇分子泵,達到6.67x10-3pa。
10、爐體尺寸:704x695x1100mm(深xx高),重量:210kg
  真空管式電阻爐標準配置:
1、304的不銹鋼法蘭1
2、密封圈4
3、爐塞 4
4、爐勾 1
5、說明書、保修卡、合格證 1
6、剛玉管 1
  選配配置:
1、玻璃轉(zhuǎn)子流量計、質(zhì)子流量計和進出口管道
2、真空泵(機械泵、分子泵)
3、安裝調(diào)試,培訓(xùn)
4、剛玉坩堝
5、備品備件
6、報警器(超溫、設(shè)備異常)與蜂鳴器(設(shè)備運行結(jié)束提示
7、自動進氣(氣體保護)、自動放氣(超壓)、自動抽真空
8、路及多路CVD供氣系統(tǒng)

 

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